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超级牛!岳阳这个高科技企业关乎中国芯片制造!
来源:岳阳晚报社2021-06-03 09:44:32
摘要
电子特种气体被比喻为半导体的“血液”,是制造芯片的关键基础材料。

  电子特种气体被比喻为半导体的“血液”,是制造芯片的关键基础材料。电子特气对纯度的要求非常高,包括氪气、氙气、氩气、氦气、一氧化碳、二氧化碳等上百种稀有气体。中国电子特气八成以上依赖进口,用于制造芯片的高端电子特气更是几乎全部依赖进口,成为“卡脖子”关键领域。近年来,湖南凯美特气体股份有限公司(以下简称“凯美特气”)在电子特气领域取得突破性进展,记者近日采访了其董事长祝恩福。

  电子特气成为“卡脖子”关键领域

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  据了解,半导体制造过程中的刻蚀、清洗、外延生长、离子注入、掺杂、气相沉积、扩散等环节要使用大量的电子气体,并且电子气体的纯度对芯片质量影响很大。随着集成电路工艺节点不断缩小,已经达到10纳米、7纳米,芯片制造对所用气体的颗粒度和杂质含量的要求也越来越高。

  除了制造芯片,电子特气还可以应用到柔性屏生产、肺部显影、卫星离子发射等多个领域。

  中泰证券等多家机构研究认为,电子特气行业具有较高的进入壁垒,美国空气化工、德国林德集团、法国液化空气和大阳日酸等四大公司控制着全球90%以上的市场份额。国内市场更是如此,八成以上的电子特气依赖进口,高端的电子特气几乎全部依赖进口,如离子注入气、光刻激光气等。

  凯美特气突破电子特气关键技术 已能实现量产

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  凯美特气是一家以石油石化企业排放的尾气(废气)、火炬气为原料,将其中有价值的成分进行分离、提纯、回收循环利用的上市公司,是可口可乐、百事可乐中国区最大的高纯二氧化碳供应商。

  2018年,凯美特气投资2亿多元,建设电子特种气体项目并将研发成果产业化,与香港一家公司合资成立岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司(以下简称“凯美特电子特气”),凯美特气控股97%。

  “目前芯片制造所用的电子特气100%依靠进口,‘卡脖子’的问题必须要解决,我们在气体行业深耕了20多年,想为国家做点事情。”凯美特气董事长祝恩福说,“我们将二氧化碳产业链进行延伸,突破电子特气国产化的技术瓶颈,成功研发出电子特气提纯技术等多项核心技术,生产出电子级气体产品。”

  祝恩福介绍,凯美特电子特气目前已成功本地化生产出电子级的99.999%高纯氙气、99.9995%超高纯航空氙气、99.9999%超高纯氩气、99.999%高纯氪气、99.9999%高纯氦气、99.9999%高纯氮、99.9999%高纯氢、99.999%高纯一氧化碳、99.99996%电子级二氧化碳,以及准分子激光含氟混合气,HCl混合气体等等。

  “这些特种气体都能够实现量产。我们在2021年年初落实了9万空分的稀有气体项目,预计2022年年底可以具备每年200标方氙气、2000标方氪气、6万标方氖气,以及1.5万标方氦气的生产能力。”祝恩福说,现阶段凯美特电子特种稀有气体的生产能力已经可以实现近1个亿的产值。

  凯美特气实现电子特气生产全流程自主可控 已获得液化空气认证

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  祝恩福介绍,电子特气对于生产环境和包装等的要求很高。“例如充装电子特气的气瓶,要求特别干净。国内的气瓶生产商达不到我们的指标要求。我们不得不花1000万元从国外进口清洗气瓶的生产线,确保了电子特气的高纯度。”祝恩福说。

  如今的凯美特电子特气已经实现了氟气、氯化氢等稀有原料气自主可控,包装气瓶处理自主可控,提纯充装的生产过程自主可控,并且拥有电子特气分析检验、气瓶检测的能力。全流程的自主可控,为稳定生产提供了保障。

  电子特气属于危险化学品工业气体,生产过程有着严格的管理规范。2020年底,凯美特电子特气拿到了全套生产资质,包括安全生产许可证、全国工业产品生产许可证、气瓶充装许可证、移动式压力容器充装许可证、质量管理体系认证证书、环境管理体系认证证书、职业健康安全管理体系认证证书等。

  尽管获得了上述生产资质,凯美特电子特气具备了生产的前提并拥有量产的能力,但打破国外对电子特气的长期垄断,实现电子特气“中国造”,需要市场的接纳和认可。而走向市场的重要一步,是获得半导体行业巨头的认证。

  凯美特气今年2月3日发布公告,称凯美特电子特气已收到液化空气(上海)供应商审核结论通告,生产的高纯度氪、氙、二氧化碳得到液化空气的认证。

  法国液化空气集团,是世界上最大的工业气体和医疗气体以及相关服务的供应商之一。随后,凯美特电子特气生产的电子特气开始正式销售,如今99.999%高纯度氪气已签署三单合同,销售额近1000万元。

  凯美特气瞄准的,是全球最大的光刻机制造商,荷兰阿斯麦的认证。“在获得阿斯麦认证之前,必须先获得德国相干公司的认证,相干公司是全球领先的激光技术供应商。现在情况还是比较顺利的,样气已经到香港,还有几天可以到德国开始认证。我对我们的产品质量很有信心。”祝恩福说,“我相信未来,在电子特气行业我们会做得很好。”

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